腔体式等离子清洗机是一种低温低压射频等离子清洗设备，其原理是基于真空状态下，利用射频源激发形成的高压交变电场将工艺气体震荡成等离子体，与有机污染物及微颗粒污染物反应或者碰撞，从而形成挥发性物质，最后由真空泵将挥发性物质排出去，从而达到表面清洁活化的目的。腔体式等离子清洗机的最大特点是可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

腔体式等离子清洗机结构及内部构造如图1、图2所示。

腔体式等离子清洗机结构简介：

1、清洗腔体：提供真空环境完成等离子体清洗。

2、射频系统：提供高频电压，激发形成等离子体。

3、真空系统：用于抽真空，以提供100Pa以下负压工作条件。

4、PLC控制系统：对整个系统进行控制，实现多种工作模式。

腔体式等离子清洗机的用途：

1、材料表面清洗：腔体式等离子清洗机可以清洗金属表面油脂、油污、以及肉眼看不到油脂颗粒等有机物及氧化层。

2、表面刻蚀：腔体式等离子清洗机通过处理气体的作用，被刻蚀物表面会变得粗糙，有些会变成气相排出。

3、表面改性：以聚四氟乙烯（PTFE）为例，在其未做处理的情况下，不能印刷或粘合。使用等离子处理可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样PTFE就能进行粘合、印刷操作。

4、表面活化：腔室等离子清洗机主要用于清理塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）、聚甲醛（POM）等无极性材料的，可以提升表面的亲水性能，和粘接性能等。低温等离子体表面活化处理技术是一种干式工艺，具有低温、高效、稳定的活化效果。

等离子清洗原理：

当等离子体与被清洗物体表面相互作用时，一方面利用等离子体或者是等离子激活的化学活性物质与材料表面污物进行化学反应，如用等离子体中的活性氧与材料表面的有机物进行氧化反应。等离子体与材料表面有机污物作用，把有机污物分解为二氧化碳、水等排出。另一方面利用等离子的高能粒子对污物轰击等物理作用，如用活性氩等离子体清洗物件表面污物，轰击使其形成挥发性污物被真空泵排出。